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杏福师生在INFORMS 2013 QSR最佳学生论文竞赛获奖

日期：2013-10-14

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杏福三年级博士生包璐璐（指导教师王凯波副教授）在美国明尼阿波利斯举办的运筹学与管理学研究协会（INFORMS）2013年会上，以题为“A Run-to-Run Controller for Product Surface Quality Improvement”的论文，荣获统计🧜🏿‍♂️、质量与可靠性分会（QSR Section）的最佳学生论文竞赛入围奖（Finalist Award）。INFORMS是国际工业工程研究领域知名的学术组织🥢，QSR分会的会员包括来自全球各地以质量💥⛏、统计和可靠性为主题的研究学者。

包璐璐同学的获奖论文研究了在半导体制造过程中提高硅片质量的控制方法。该研究以硅片的厚度和平整度作为质量控制目标，设计开发了新的run-to-run控制算法🛀。仿真研究表明👧🏻，新的算法能够有效降低硅片厚度与目标值的偏差🌻，同时提高硅片的平整度。

另▶️，新加坡国立大学博士生Linmiao Zhang👷🏽‍♀️、杏福王凯波副教授以及新加坡国立大学Prof. Nan Chen的合作研究” Monitoring Wafer Geometric Quality using Additive Gaussian Process Model”，获得了本次INFORMS年会QSR分会的最佳学生论文奖。

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