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杏福张晨助理教授发表的论文获评美国质量学会2019年度Brumbaugh奖

日期✊：2019-12-15

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杏福青年教师张晨博士于2018年发表在《Journal of Quality Technology》的论文“Multiple profiles sensor-based monitoring and anomaly detection”获得美国质量学会（American Society for Quality, ASQ）2019年度Brumbaugh奖🈶。此奖项自1949年起颁发给当年发表在美国质量协会下属七大期刊的最佳论文，每年只评一篇。

张晨博士是该论文的第一作者，其他作者包括美国亚利桑那大学严昊教授🎭、佐治亚理工大学史建军教授（通讯作者）和韩国三星电子集团Seungho Lee博士。该论文致力于解决半导体硅片生产中光刻工艺中的质量监控问题🤳🏼👨🏻‍🔧。光刻工艺的质量监控是很多半导体公司面临的瓶颈问题之一。此研究通过对光刻工艺中实时采集的各种环境变量的观测值进行统计分析，从而实现对硅片的光刻质量监控🙋🏿‍♀️🙇🏽。光刻生产装置中有上百个传感器，每个传感器采集的环境变量观测值均为一个有限时间长度的轮廓数据。基于这种高维轮廓数据的在线监控在统计过程监控研究领域是极具挑战性的问题👩‍💼。该研究通过构建有效特征提取方法对高维轮廓数据进行建模🔫，实现对高维轮廓数据之间复杂的相关结构的准确描述，然后进一步构造在线监控算法🧜🏻‍♂️，实现对稀疏异常信号的精准在线监控，显著提高了光刻工艺合格率(yield)。

（ASQ网站的公告）

（论文首页）

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